第120章:干法蚀刻（2/2）

得到了化学蚀刻出现问题之后，沈丹青非常重视，他立刻召集了相关科研单位商讨对策。

说实话，他们是第一次见到这个问题。用化学方法蚀刻这么微小的图形，本来就很神奇。现在却说这种方法不行，要另想办法。这可真的难住他们了，他们一时也没有了好办法。最后还是沈丹青记起了前世的一些书上讲过，蚀刻分为湿法蚀刻和干法蚀刻。因此对他们说：“试试干法蚀刻，或许要好许多。”

“老板，什么是干法蚀刻你能祥细的告诉我们吗”化学研究所的所长王波就站出来问他。没办法谁让化学蚀刻技术是化学研究所的主要责任呢

“先声明啊！我不懂具体原理。我只知道在一定的气压压力下，电浆离子与氧化硅或铜起反应或高速撞击，使之同样气态电离化，然后用抽气机抽走。又进行同样的步骤，直至蚀刻出我们需要的图形。这种方法能减少侵蚀，得到比较陡边的图形。应该来说会比湿法蚀刻好得多，也精密得多。不管怎么样！大家先试试看吧！”沈丹青将他所知道的只言片语讲了出来，具体的技术和方法就要他们去研究了。

“老板，具体点，是哪几种电浆，你知道吗”王波以希翼的语气问他。他自己也知道老板可能不知道，所以才用这样的语气请问他。

“我怎么知道我又不是科学家，我只不过是看到书上提到了几句，具体的原理和方法，还要你们自己去实验，我是帮不了的。”果然不出王波所料，老板不知道。而且他还讲的理直气壮，也不知道他是从哪本书上看到的。要知道他们这些专业的科学家都不知道，也真是怪了。老板经常神神秘秘的，好多的先进技术，都是从他的嘴里讲出来的，虽然只有皮毛，但是起码有了方向，不再是一无所知。

“大家听我说，刚才老板己经为我们指明了方向，我们就以这个方向为突破口。我刚才大体考虑了一下，觉得非常可行。许多技术，我们在研制离子注入机的时候己经掌握了。这种新方法，无非是在离子注入机技术的基础上加上了化学反应。而未知的游离电浆，我也有了初步的预判。我们只研究与氧化硅和铜起反应的两种电浆。其它的蚀刻，还是釆用湿法蚀刻，不会影响成品率。那么这两种电浆就是我们化学研究所的任务了。其它的机体部分，还是和离子注入机差不多。我们先试着干吧！……”

王波主动的站出来发言，话还没讲完，就被沈丹青打断了：“很好，刚才王所长的讲话非常有见地。我现在任命王所长为这次干法蚀刻设备研发的事业部部长。其他人都要听从他的指挥，他还可以从整个公司调配人力和资源。为了提高你们的急极性，我提早告诉你们一个好消息。”

沈丹青的话没讲完，在场的人的心思就纷纷蠢蠢欲动了。老板嘴里说出的好消息，那一定错不了。

大家的举动，沈丹青都看在眼里。他不仅没有气恼大家打断他的话，反而非常高兴的接着说：“只要这套芯片生产设备，研发成功。具备一定的精确度和良品率，我们就会去长沙设立第一家芯片制造工厂。工厂正式投产之后，所有参与研发芯片制造设备的工作人员，你们的欠款，全部一笔勾销。怎么样这个奖励大家满意吗”

整个会场，一时失声。大家都太震惊了，不敢想象老板既然能给这么重的奖励。要知道，参与研发人员，至少都是工程师级别的技术员。级别高了，他们欠公司的钱也就更多，少的也欠了上百万，多的欠了几百万，比如各研究所的所长。这次奖励，比他们这几年工作所得的工资和奖金还要多，能不让他们兴奋吗“哦！”会场响起了一片欢呼声，老板的奖励太给力了，他们一时控制不住自已兴奋的情绪，没有任何人例外。

沈丹青看着会场上的人员的反应，满意地点了点头，他要的就是这种效果，只有不断激励大家，他们才能给他更大的回报。这点钱算什么，后世纳米级别的芯片制造设备，没有几十亿你想都别想，单位还是美金。中国人想买，他们还不会卖给你。现在长胜集团自已研发了全套技术，先不管先进与否，只要有了，以后就可以不断改进。能与欧美并驾齐驱，这种感觉就像毒品一样，令沈丹青深深的迷醉。

……